技術(shù)參數(shù):
u MAX大測(cè)量長(zhǎng)度: 25mm
u 直線度測(cè)量精度: 0.4μm
u 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),RC濾波器
u 截止波長(zhǎng): 0.25,0.8,2.5
u 測(cè)量重復(fù)性: 4%
u 相對(duì)示值誤差: ±7%
u 測(cè)量長(zhǎng)度: λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm)
u 測(cè)量范圍: 640μm
u 分辨率 : 0.001μm
u 測(cè)量速度: 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
u 返回速度: 1mm/s(自動(dòng))
u 測(cè)量方式:傳感器移動(dòng)式
u 主機(jī)重量:約200Kg
u 主機(jī)尺寸:長(zhǎng)(1600mm)х寬(700mm)х高 (1400mm)