產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
-
光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
-
影像系統(tǒng)：1024×1024
-
干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
-
XY平臺移動范圍：140×110mm
-
控制方式：電動
-
Z軸行程：100mm
-
Z向掃描范圍：10mm
-
Z向掃描速度：>45μm/s
-
Z向分辨率：0.1nm
-
可測樣品反射率：0.05%-100%
-
水平調(diào)整：±5°，手動
-
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
-
臺階高測量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1σ
-
